Widerstandsverdampfer für Gold

Widerstandsverdampfer „Congo Vac“

Metallisierungsanlage im Reinraum des LNQE-Forschungsbaus

Erweiterung der Technologischen Möglichkeiten im LNQE-Forschungsbau: Wir haben jetzt extra eine Anlage zum Bedampfen von Wafern und kleinen Stücken mit Gold, Titan und weiteren Metallen.

Die Anlage wurde durch die Kooperation mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt und der Abteilung 2 verfügbar kann von den LNQE-Arbeitsgruppen genutzt werden. Die Gerätebeschreibung und Ansprechperson der Anlage sind auf der LNQE-Website bei der Technologie im LNQE-Forschungsbau aufgeführt.