Das neue System zur Dünnschichtabscheidung ist eine HHV ATS 500 mit Elektronenstrahlverdampfern. Es dient zur aufdampfenden Beschichtung mit dünnen Metallschichten aus Gold, Titan, Chrom, Nickel, Germanium und Siliziumdioxid (und ggf. weiteren Materialien).
Die neue Beschichtungsanlage wird im Rahmen des BMBF-Projektes SemIQON zur Herstellung eines (hybriden) Halbleiter-MEMS-Bauelements für skalierbare Anwendungen in optischen Quantenverstärkern und –computern beschafft. In dem Bauteil soll dabei ein nano-photonisches Netzwerk aus quasi-identischen, verschränkten Halbleiter-Quantenpunkten errichtet werden. SemIQON steht für „Semiconductor Integrated Quantum Optical Network – Halbleiter-integriertes Quantenoptisches Netzwerk“, Projektleiter ist Prof. Dr. Michael Zopf vom Institut für Festkörperphysik der Leibniz Universität Hannover. Die Gerätebeschreibung und Ansprechperson der Anlage sind auf der LNQE-Website bei der Technologie im LNQE-Forschungsbau aufgeführt.
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