Die Geräteausstattung im Reinraum des Forschungsbaus Laboratorium für Nano- und Quantenengineering ist um ein weiteres Top-Gerät erweitert worden. Es handelt sich um ein Mikroskop zur schnellen und zerstörungsfreien Bestimmung von Mikro- und Nanogeometrien auf Oberflächen und erzeugt 3D-Bilder mit hoher Detail- und Tiefenschärfe. Das neue Mikroskop (Typ DCM 3D von Leica) vereinigt drei Mikroskope in einem Instrument: Digitalmikroskop, Hochauflösendes konfokales Messsystem und Interferometrie-Profilometer. Im Konfokalmodus werden laterale Auflösungen im Sub-Mikrometerbereich sowie Höhenauflösung im Nanometerbereich erzielt. Der Interferometriemodus erlaubt sogar Messungen mit einer Höhenauflösung im Sub-Nanometerbereich.
Das neue Oberflächenmessgerät wurde mit Ersteinrichtungsmitteln des Neubaus finanziert und steht ab sofort den Mitarbeitern aus den Arbeitsgruppen des LNQE zur Verfügung.
