Die Forschungsgeräte im Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE) sind um ein weiteres Analysegerät erweitert worden: Eine neue Wafer-Probe Station (Typ Cascade Summit 11000). Die Probe-Station eignet sich zur elektrischen Charakterisierung von Proben bis 8-Zoll/200 mm. Die Proben-Kammer ist sehr gut gegen äußere elektrische Einflüsse abgeschirmt und die kapazitive Koppelung ist extrem klein. Die Temperaturen sind von -65 °C bis +200 °C veränderbar. Die Verkabelung erlaubt sowohl DC als auch RF Messungen. Das System verfügt über ein digitales Kamerasystem mit mehrere CCD-Einheiten für unterschiedliche Vergrößerungen in Echtzeit. Die Probe-Station im LNQE ist mit einem Impedance-Analyzer ausgestattet und steht auf einer Anti-Vibrationsbasis schwingungsentkoppelt im Reinraum.
Die neue Probe-Station wurde mit Ersteinrichtungsmitteln aus der Baumaßnahme LNQE finanziert und steht bereit für alle Wissenschaftler aus den Arbeitsgruppen des LNQE.
Neue Probe-Station im LNQE Forschungsbau.
