Untersuchungen zu den Eigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten auf Polymersubstraten am Beispiel eines flexiblen Sensorarrays

Im Rahmen dieser Arbeit soll ein flexibles Sensorarray, an dessen Beispiel der Substrateinfluss auf die Eigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten untersucht wird, entwickelt und hergestellt werden. Die Fertigung dieses Sensorarrays erfolgt dünnfilmtechnisch.

Als flexibles Trägermaterial bzw. Substrat sollen verschiedene Polyimid-basierte Dünnschichten in die Untersuchungen einbezogen werden. Diese werden in Bezug auf vorherrschende Eigenspannungen, Oberflächenqualität und mechanischen Eigenschaften charakterisiert.

Weiterhin muss ein geeignetes Design des zu realisierenden Sensorarrays entwickelt werden. Die zur Fertigung des Sensorarrays benötigten dünnfilmtechnischen Prozesse müssen ermittelt und im Anschluss durchgeführt werden. Am realisierten, flexiblen Sensorarray werden die Eigenschaften der aufgebrachten Sensor-Dünnschichten eruiert. Die durchzuführenden Untersuchungen umfassen die morphologischen, mechanischen und magnetischen Eigenschaften dieser Schichten.