Das neuste Analysegerät im LNQE-Reinraum ist ein taktiles Profilometer, das DektakXT Advanced System (DXT-A) von der Firma Bruker.
Für viele Mikrofabrikationsprojekte im LNQE sind genaue und reproduzierbare Messungen der Stufenhöhe, der Schichtdicke, der Tiefe von in Substrate eingearbeiteten Strukturen sowie die Charakterisierung der Oberflächengüte entscheidend. Das neue DektakXT-A erweitert die Möglichkeiten im LNQE-Forschungsbau um taktile Messungen komplementär zu den vorhandenen Verfahren wie Rasterkraftmikroskopie, konfokale Mikroskopie, Ellipsometrie etc.
Mit dem neuem DektakXT-A ist eine Messung der Stufenhöhe im Bereich 1.000 μm bis runter zu 10 Nanometer mit einer Wiederholbarkeit von bis zu 0,4 Nanometer möglich. Es können 3D-Mappings auf einer motorisierten Stage mit rotierbarem 200 mm Vakuum Chuck gemacht werden.
Das DektakXT-A wird vom Exzellenzcluster QuantumFrontiers mit Flexible Funds gefördert (Antrag von Prof. Dr. Christian Ospelkaus, Institut für Quantenoptik & Physikalisch-Technische Bundesanstalt). Insbesondere soll es zur Dünnschichtcharakterisierung von Ionenfallen eingesetzt werden, es steht allen Gruppen des LNQE zur Verfügung. Die Gerätebeschreibung und Ansprechperson des Profilometers sind auf der LNQE-Website bei der Technologie im LNQE-Forschungsbau aufgeführt.
