Am 22. und 23. November 2023 waren die GMM-Nutzergruppen "Heißprozesse und RTP" sowie "Ionenimplantation" zu Gast an der LUH. Das Institut für Materialien und Bauelemente der Elektronik (MBE) ist seit vielen Jahren ein aktives Mitglied beider Nutzergruppen und organisierte in diesem Jahr das Treffen im Königlichen Pferdestall. GMM ist die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik.
Ziel der Treffen der Nutzergruppen ist ein aktiver Austausch zwischen Vertretenden der Industrie und aus Forschungseinrichtungen zu den namesgebenden Prozessen der Halbleitertechnologie. Unter den ca. 45 Personen Teilnehmenden waren Mitarbeitende von Herstellern von Halbleiterprodukten, z.B. Bosch und Infineon sowie von Zuliefererfirmen, z.B. Centrotherm und Axcelis. Neben der Industriebeteiligung gab es Teilnehmende großer deutscher Forschungseinrichtungen, z.B. Fraunhofer IISB und IHP (Frankfurt, Oder).
Das Laboratorium für Nano- und Quantenengineering (LNQE) freute sich, das Treffen der GMM-Nutzergruppen mit einer großen Labortour durch den LNQE-Forschungsbau zu unterstützen und insbesondere den Forschungsreinraum zu präsentieren.
Wir hoffen, die Tour hat allen Teilnehmerinnen und Teilnehmern gefallen!
